Nowe, ultraczyste tworzywa Stat-Loy firmy SABIC Innovative Plastics wykorzystywane są w przemyśle półprzewodnikowym.- Klienci wymagają coraz większej uniwersalności i funkcjonalności urządzeń elektronicznych. W odpowiedzi przemysł półprzewodnikowy dąży do zwiększenia liczby funkcji realizowanych przez istniejące układy scalone. Nowa generacja procesu technologicznego produkcji kości półprzewodnikowych oparta jest na fotolitografii z wykorzystaniem lasera argonowo-fluorowego (ArF). Zastosowanie laserów ArF zostało opóźnione przez brak wystarczająco czystych tworzyw, które mogłyby stanowić budulec pojemników ochronnych używanych w procesie produkcji układów scalonych. Chcąc sprostać temu wyzwaniu i odpowiedzieć na potrzeby klientów, opracowaliśmy ultraczyste i przezroczyste tworzywa serii Stat-Loy 63000CT - tłumaczą przedstawiciele firmy SABIC.
Tworzywa UPT Stat-Loy stosowane są w elementach zabezpieczających płytki półprzewodnikowe i chronią przed uszkodzeniami spowodowanymi odgazowywaniem, które może doprowadzić do zanieczyszczenia płytek, zwiększenia liczby odrzutów i podniesienia kosztów.
Proces technologiczny układów scalonych wymaga spełnienia surowych kryteriów w pomieszczeniach czystych. Wraz ze zmniejszaniem wymiarów poszczególnych elementów coraz większego znaczenia nabierają zanieczyszczenia pochodzące z odgazowywania tworzywa. Gdy organiczne substancje lotne lub wypłukiwane jony docierają do powierzchni płytki krzemowej, maski fotolitograficznej lub siatki, mogą uszkodzić urządzenie lub zakłócić jego funkcjonowanie. Korzystanie z mocniejszych laserów ArF oznacza jeszcze większe narażenie płytek i pojemników na uszkodzenia będące skutkiem odgazowywania.
Niedawno spółka Gudeng Precision Industrial Co. stała się jednym z największych producentów ultraczystych pojemników do transportu i przechowywania masek fotolitograficznych oraz sprzętu do czyszczenia siatek ze zmienną fazą (w technologii PSM) i siatek o najwyższych parametrach.
Poshin Lee, jej kierownik techniczny, twierdzi, że Stat-Loy 63000CT jest odpowiednim materiałem na zasobniki do transportu płytek i masek fotolitograficznych w procesie produkcji. Spełnia przy tym kluczowe wymagania w zakresie czystości i zapewnia niski poziom ryzyka zanieczyszczeniem podczas transportu wewnątrzfabrycznego.
Chcą dostarczyć odpowiednie rozwiązania SABIC Innovative Plastics poszerzył obecną gamę produktów LNP Stat-Loy o tworzywa serii Stat-Loy 63000CT, które są ultraczyste, przezroczyste i trwale antystatyczne, a także charakteryzują się bardzo niskim poziomem odgazowywania organicznych substancji lotnych i niskim poziomem wypłukiwanych jonów.
Dla porównania, przezroczysty, antystatyczny metakrylan poli(metylowy) (PMMA) przejawia wysoki poziom odgazowywania, co prowadzi do tworzenia się mgiełki. Nieprzezroczyste, czarne tworzywa uniemożliwiają z kolei sprawdzanie numerów siatek i masek fotolitograficznych z numerami opakowania bez otwierania pojemnika. Natomiast tworzywa UPT Stat-Loy 63000CT zapewniają klarowność, czystość i przewodność elektryczną. Co więcej, ich budowa oparta na stopie poliwęglanowym zapewnia 20-krotnie większą odporność na uderzenia niż inne materiały na rynku.
Nowy materiał poddaje się zabarwianiu na praktycznie dowolny kolor w procesie wtrysku, podczas formowania można również wytworzyć szereg specjalnych efektów kolorystycznych. Tworzywa serii UPT Stat-Loy 63000CT nadają się na urządzenia do ochrony płytek, kontenery na układy scalone, opakowania systemów MEMS, zasobniki masek oraz pojemniki transportowe.
